我們是東莞愛加真空科技有限公司,為您提供以下服務(wù):
1、Lesker KDF 600i系統(tǒng)維修護理

它們配置了一個可選的高真空裝載鎖和三個或四個目標(biāo)位置,托盤尺寸為13 x 13英寸。(獨特的托盤設(shè)計可供選擇)。
2、Lesker KDF 744i系統(tǒng)維修護理

744i可容納高達Gen 2的玻璃尺寸。744i配備了高真空負(fù)載鎖定裝置,該裝置配置了基板預(yù)熱裝置,可實現(xiàn)工具的高吞吐量。744i的托盤面積為19 x 19英寸,占地面積緊湊,占地面積不到競爭設(shè)備的三分之一。
3、Lesker KDF 844i系統(tǒng)維修護理

844i可容納高達Gen 3的玻璃尺寸。由于其尺寸,844i系統(tǒng)是運行從小到大的芯片或基板批次的方式。
4、Lesker KDF 900i系統(tǒng)維修護理

高速率直流磁控濺射、單程或多程沉積和雙電平高真空抽運負(fù)載鎖定特性支持這些生產(chǎn)系統(tǒng)的通用性和高吞吐量,允許濺射材料垂直轉(zhuǎn)移。
如若您想了解上述產(chǎn)品的更多相關(guān)信息,請聯(lián)系我們!
