安田豐技術(shù)（江蘇）有限公司2026-05-16

安田豐技術(shù)光掩膜版機械手配備專屬夾持頭或吸附頭，采用柔性接觸設(shè)計，可有效減少接觸應(yīng)力，避免對掩膜版造成接觸損傷。同時搭載平穩(wěn)運動控制機構(gòu)，降低搬運過程中的振動，配合視覺識別系統(tǒng)實現(xiàn)精確定位，全維度避免掩膜版發(fā)生碰撞、刮擦等損傷，保障掩膜版完好。

本回答由 安田豐技術(shù)（江蘇）有限公司 提供